机译:高效的氮化硅SINX:H抗反射和钝化层,用于硅太阳能电池的大气压PECVD沉积
机译:PECVD技术沉积的SiNx:H层对mc-Si表面和晶界钝化的影响
机译:PECVD沉积的SiNx钝化层厚度对In0.18Al0.82N / GaN / Si HEMT的影响
机译:放电模式对SIN_X的光学和钝化性能的影响:PECVD在大气压下沉积
机译:通过常压金属有机化学气相沉积法沉积的氮化铝薄膜的电,结构和光学性质。
机译:氮气掺入对VHF PECVD沉积的富含Si的A-SiCx薄膜光学性质的影响
机译:放电方式对大气压下PECVD沉积的SiNx:H的光学和钝化性能的影响